瑞士VAT蝶形控制真空阀61.3系列快速精确

瑞士VAT蝶形控制真空阀61.3系列快速精确

• 产品特点：

• 精准压力控制：配备快速精确的动作控制器，能在 0.1 秒内做出响应，可快速、精准地控制下游压力，是化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）等工艺中精细控制的理想解决方案。

• 适应恶劣环境：专为气流中含有颗粒的恶劣下游工艺设计，即使在高颗粒负载和碎屑堆积的情况下，也能保持完-全运行。

• 可靠性高：该系列阀门已在数千个苛刻的应用中安装，经过各种工艺条件的验证，具有出色的可靠性。其设计坚固，提供直接安装选项，且维护简便，可降低运营成本。

• 灵活性强：提供多种设计选项，包括不同的阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游 / 软泵），便于集成到各种真空应用中。

• 技术参数：

• 尺寸：提供 DN 25（1’’）、DN 40（1½’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2½"）、DN 80（3"）、DN 100（4"）、DN 160（6"）、DN 200（8"）、DN 250（10"）、DN 320（12"）等多种规格。

• 阀体材料：有铝和不锈钢两种材质可供选择。

• 法兰连接：标准法兰为 ISO-KF 和 ISO-F，也可根据客户需求提供特定法兰。

• 压力范围：工作压力范围为 1×10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar（绝-对压力）。

• 泄漏率：铝制阀体和不锈钢阀体的泄漏率均小于 1×10⁻⁹ mbar・l・s⁻¹。

• 使用寿命：在压力控制模式下，首-次维护前的循环次数可达 200 万次。

• 温度范围：阀体温度≤150°C，控制器最-高温度为 50°C（建议≤35°C）。

瑞士VAT蝶形控制真空阀61.3系列快速精确