Phytron VSS 系列步进电机：赋能扫描电子显微镜（SEM）的应用方案

Phytron VSS 系列步进电机：赋能扫描电子显微镜（SEM）的应用方案

扫描电子显微镜（SEM）通过高能电子束逐点扫描样品表面，采集二次电子、背散射电子等信号成像。相较于传统光学显微镜，它具备显著优势：分辨率依机型与电子源可达 1–2 nm，景深更大能呈现立体表面形貌，可同步获取形貌、成分等多维度信息，且适配导电或经导电处理的各类固体样品。

当前，半导体工艺、微纳加工、先进材料等领域对高分辨率检测需求持续攀升，电池、电催化剂、燃料电池的结构成分精细表征，以及细胞、微生物、纳米药物等生物样品研究不断深入，推动 SEM 应用从科研向产业延伸，从静态表征向多模态、原位检测升级。

在此背景下，Phytron VSS 真空步进电机被广泛用于 SEM 核心运动定位单元，包括样品台（Sample Stage）多轴驱动、EDS（能量色散 X 射线谱）探头定位，以及背散射探测器或光学探头的收放与角度调节。由于 SEM 对驱动系统要求严苛，步进电机需满足多重条件：适配高真空环境、实现高精度定位、支持最高 300,000 脉冲 / 秒驱动信号，同时具备高可重复性与低速大力矩，确保微小位移稳定无振动。

Phytron 早在 1984 年便推出真空环境专用电机，凭借数十年技术积累与对性能的不懈追求，已成为真空步进电机领域重要供应商。其 VSS 系列两相混合式步进电机契合 SEM 应用需求：可在 10⁻¹¹ hPa 真空环境下稳定工作，扭矩覆盖 3.4 mNm 至 13 Nm；微步进模式下步距分辨率最高达 1/512，且能配合编码器实现精准定位；独特磁路设计使电机保持位置时无抖动，尤其适配探头及探测器定位场景。

此外，Phytron 还可提供 VGPL 行星 / 谐波传动齿轮、KTC/Pt100 热传感器，以及编码器与双轴选项，满足多样化、定制化需求。北京汉达森则为客户提供自动化解决方案，产品涵盖环境真空电机、标准工业步进电机、集成式步进电机、直流减速电机、防爆电机及振动电机等，欢迎垂询。

Phytron VSS 系列步进电机：赋能扫描电子显微镜（SEM）的应用方案